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产物分类
Cassification
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产物型号:
厂商性质:经销商
更新时间:2025-11-05
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倍福 KL9187 作为一款 8 通道电源分配终端模块,凭借稳定的供电控制能力与高可靠性设计,成为芯片生产场景中的关键支撑组件。该模块支持 24V DC 输入,每通道输出电流可达 5A,且具备独立的过载保护功能,能为芯片生产设备中的传感器、执行器及小型控制单元提供精准、稳定的电源供给,避免因供电波动导致设备异常。
在抗干扰性能上,KL9187 模块具备 500V AC 电气隔离能力,可有效抵御芯片生产车间内高频等离子设备、高压电源等产生的电磁干扰,防止电源信号波动影响精密设备运行。其宽温工作范围(-25℃~+60℃)适配芯片制造中光刻车间的恒温环境与封装车间的温差变化,确保在不同生产环节均能稳定供电。此外,模块采用标准化导轨式安装,宽度仅 12mm,可在芯片生产设备的紧凑型控制柜内实现高密度部署,节省 40% 以上安装空间,同时支持热插拔设计,为后期维护提供便利。



二、核心应用场景:赋能芯片生产全流程
1. 光刻环节:保障精密设备稳定供电
在芯片光刻车间,光刻机作为核心设备,其内部的激光定位传感器、晶圆传输机械臂驱动单元对供电稳定性要。KL9187 模块在此环节承担电源分配任务,通过 8 个独立通道分别为光刻机的晶圆定位传感器(2 个通道)、机械臂驱动电机(3 个通道)及环境监测设备(3 个通道)供电。
模块每通道的过载保护功能可实时监测电流变化,当某一通道电流超出设定阈值(如传感器供电通道电流超过 0.5A)时,模块会立即切断该通道电源,避免过载损坏设备。同时,其稳定的电压输出(波动范围 ±0.5%)确保激光定位传感器的定位精度维持在 ±0.1μm,保障晶圆光刻图案的准确性。某芯片制造公司引入 KL9187 模块后,光刻机因供电问题导致的停机次数从每月 3 次降至 0 次,光刻良率从 95% 提升至 98.5%,单月减少晶圆报废损失超 120 万元。
2. 蚀刻环节:精准控制设备供电逻辑
芯片蚀刻过程中,等离子蚀刻机的气体流量控制阀门、真空压力传感器等设备需按特定时序启动与运行,KL9187 模块通过与 PLC 系统联动,实现对这些设备的精准供电控制。模块支持通过 EtherCAT 协议与控制系统通信,可根据蚀刻工艺步骤,远程控制各通道电源的通断时序,例如在蚀刻开始前,先为真空压力传感器供电(通道 1),待压力达到设定值后,再为气体流量阀门供电(通道 2-4),确保工艺流程有序进行。
此外,KL9187 模块的电流监测功能可实时反馈各设备的功耗状态,当蚀刻机某一气体阀门电流异常升高(如超过 2A)时,系统可通过模块数据判断阀门是否存在卡顿,并及时触发维护预警。某 12 英寸芯片蚀刻车间应用 KL9187 模块后,蚀刻设备的平均运行时间从 800 小时提升至 1200 小时,蚀刻工艺参数达标率从 96% 提升至 99.2%。
3. 封装测试环节:优化多设备供电管理
在芯片封装测试环节,封装机的引线键合单元、测试设备的探针台均需独立且稳定的电源供给。KL9187 模块通过 8 通道电源分配,分别为封装机的键合电机(2 个通道,每通道电流 3A)、温度传感器(2 个通道)及探针台的探针驱动单元(4 个通道)供电,实现多设备供电的集中管理。
模块的独立通道设计可避免设备间供电干扰,例如探针台探针驱动单元的瞬时电流波动(最高 3A)不会影响封装机温度传感器的供电稳定性(工作电流 0.2A),确保封装温度控制精度维持在 ±1℃,键合压力误差控制在 ±5g。同时,模块的状态指示灯可实时显示各通道供电状态
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